能夠應用于水液壓內嚙合齒輪泵主要零件的材料主要有不銹鋼、鋁合金、復合材料、工程塑料、陶瓷等。由于齒輪和補償機構零件的結構和形狀復雜、加工精度很高，復合材料和工程塑料并不適宜，因此不銹鋼和鋁合金成為現實的選擇。經過材料的特性分析，9Cr18不銹鋼用于制造大齒輪和小齒輪軸；L,C9鋁合金和1Ci18Ni9Ti不銹鋼分別用于制造兩套軸向和徑向補償零件以便進行對比實驗和選擇；SF復合材料具有自潤滑和能力而被用于制造滑動軸承；選用了²LlOSA鋁合金制造泵體。

內嚙合齒輪泵的油、水介質對比實驗和研究表明，主要零件工作表面的失效形式為嚴重的磨損和腐蝕。表面工程技術主要用于增強零件工作表面的抗磨損和能力。經過分析研究，   適宜9Cr18不銹鋼材料的表面工程技術是表面等離子注入，它能顯著增強表面微觀硬度并表面特性。因此，為泵在水潤滑和腐蝕條件下的工作性能，其齒輪副中的小齒輪軸的工作表面采用了表面等離子注入N和T大齒輪采用了表面等離子注入N。采用1Ci18Ni9Ti不銹鋼制造的軸向和徑向補償零件的工作表面也采用表面等離子注入N,而采用L,C9鋁合金制造的軸向和徑向補償零件的工作表面則采用了鋁合金   適宜的表面微弧氧化技術，以便在其工作表面形成一層具有自潤滑能力和、抗磨損、的鋁合金表面氧化陶瓷層，從而表面的工作性能。